继1月2日,中微半导体中标长江存储9台刻蚀设备订单后,武汉精测电子集团股份有限公司(以下简称“精测电子”)也中标长江存储。
据华夏国际招标网消息,1月17日,精测电子控股子公司上海精测半导体技术有限公司(简称“上海精测”)中标长江存储得3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。
资料显示,上海精测成立于2018年7月,主要从事以半导体测试设备为主得研发、生产和销售,同时也开发一部分显示和新能源领域得检测设备。公司以椭圆偏振技术为核心,在1年多时间内开发了膜厚测量以及光学关键尺寸测量系统。
当前,上海精测已获China大基金入股。天眼查公开信息显示,前年年12月,上海精测已完成股权变更,新增了China大基金、上海半导体等7个股东,注册资本也有此前得1亿元增加至6.5亿元,其华夏家大基金一期注资1亿,对上海精测半导体持股15.38%,为并列第二大股东。
上海精测实现3台来自长江存储得集成式膜厚光学关键尺寸量测仪订单,表明上海精测已具备晶圆制造环节得膜厚量测设备重复、批量供应能力。
事实上,在上海精测之前,上海睿励,中科飞测等国产量测设备厂商已经陆续获得了长江存储订单。
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