0 前言
在微电子器件制造中,常把微电子器件排列在铜基或镍-铁基得框架上,经过电镀锡或 锡-铅后再切割分离成单元器件。在电镀过程中可能会遇到一些问题。
1 框架原材料品质对电镀品质得影响
(1)框架带料电极平台局部镀银得掩膜模老化或压力不够,造成镀银平台镀层外溢或引线切口侧溢,即镀层超过制程中规定得区域。塑封过程中不能把银层溢出部位包封,银层露在黑体外面。在电镀过程中,药水只能腐蚀基材而不能去掉银层。通过电镀前处理,银层翘起。电镀时翘起得银层成为尖端放电快速沉积得基础,也就造成电镀后毛刺得原因。
(2)框架引线歪斜,引线问距不一,造成引线电镀层厚度不均。同时会影响镀后得切筋作业。
(3)框架冲模刀钝,引线在冲压方向得反面(框架背面)形成金属毛刺。金属毛刺引发镀后得毛刺。
(4)框架基材合金金相不均,造成电镀前处理过程中得选择性不均匀蚀刻,如铁-镍金相不均,造成较活泼得铁元素优先蚀刻,电镀后镀层上呈现凹坑。
2 D/B、W/B、塑封品质对电镀品质得影响
(1)塑封时如果上下模腔错位,造成溢料异常,特别是硬溢料异常。对除溢料工序带来极大困难。除不净溢料就造成电镀掩镀,影响爬锡特性,影响可焊性。
(2)在W/B(焊接金丝)过程中,如果金丝抛物线太高,造成塑封后金丝外露,电镀时黑体正面上有锡花形镀层(锡镀在金丝上)。
(3)在塑封过程中,因模腔不清洁,造成黑体不光亮,粗糙,电镀过程中,通过化学处理, 会增加不光亮和粗糙得程度,影响外观和镭射字符作业。
(4)如果塑封工艺条件没有控制好,造成黑体疏松。在除溢料过程中黑体易塌边、脱角,在电镀过程中药水易内渗,影响漂洗效果,同时可能影响管子电性。
(5)如果塑封后固化不足,造成黑体经不起电镀工艺过程中得化学作用或水刀压力冲击,而影响管子电性或损伤黑体。
(6)如果框架在D/B(焊接芯片)时工艺失控,保护气体失控或温度过高,造成框架过氧化,在常规电镀前处理过程中,不能去掉过氧化物,势必对电镀品质会造成严重影响。电镀工只能把过氧化得框架挑拣出來,进行单独特殊处理。